工业自动化
工业自动化
使用放电加工机、水刀切割、激光加工机、研磨机、精密冲压机等，实现高速且超高精度的加工
实现了曝光装置、线性编码器、点胶机、晶片检查装置等的超精密动作
通过具备客户自有的机器人机构的装置，实现特殊的机械机构的控制
凭借超高速伺服循环运算，高速高精度控制迈入新领域。压倒性的运算速度可进一步实现客户装置的高精度化。
具有伺服循环50μs/5轴的世界最高水平 *1 的运动控制技术。
凭借超高速反馈控制，在精密加工方面可实现高精度的轨迹
控制。
*1截至2018年3月 本公司调查结果
通过高速接收反馈值并在指令值(目标值)中做出修正，实现更
接近设计值的轨迹控制
支持多厂商的驱动器、标尺。摆脱周边设备的限制，引导客户装置发挥出高性能。
支持A/B相信号、串行数据I/F，实现使用高性能标尺的高
精度定位控制。
支持基于模拟指令(DAC、直接PWM *2 )的轴控制。能够
与高响应性的音圈电机和精密的直线电机等各种电机相
连接，进行精密的机械动作。
*2. 直接PWM今后计划扩展。
使用EtherCAT ® 主站通信端口，可以连接伺服驱动器、
变频器、视觉系统、各种传感器和I/O等EtherCAT ® 从站，
构成灵活的系统。
由高分辨率的电机和编码器构成的超精密工作台
由多个直线电机和标尺构成的龙门架机构
客户自有的机器人机构
需要同步控制的多轴机构
