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2012/03 生产终止

F3M-S

映射传感器

F3M-S

13段/25段全部映射通过量提高。通过SIC仿晶圆片稳定检测、可以降低成本。

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F3M-S1225 Mapping_Sensor , Applicable_Wafer_Size_12_Inches , 25_Tiers , With_Self-Diagnosis 2D / 3D

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