向CID载体读写信息
品质信息、工序指示信息、工序完
成信息、批次信息、检查结果等
工序进度、品质管理
根据从CID载体读取的信息
正确地把握和追踪工序进度
在如今的多品种少量生产中,要保障生产效率和品质,工序管理至关重要。其中最有效的手段之一,就是通过RFID方式,用CIDRW头从CID载体中读写每个FOUP的信息,把握并追踪工序进度,这已是一种世界标准。
RFID方式具有出色的读写可靠性和耐环境性,在生产效率的维持和耐清洗性需求较高的半导体制造车间,有广泛的应用。