确保晶片过程控制精准重复
通过构建分散模块化系统，子系统分担过程控制以外的功能控制，从而确保主控制器的资源集中用于晶片过程控制。
同时采用高速、低抖动且具有实时性的EtherCAT，确保过程控制精准重复。
NEW
NX系列EtherCAT® 从站单元借助EtherCAT自律分散系统
提升半导体设备的附加价值
以往由主控制器进行所有控制时
NX系列由分散模块进行除过程控制以外的控制时
缩短设备设计开发周期
通过分散模块化实现并行开发。此外，使用NX-ECT101并与EtherCAT整合，减少需要学习操作的工具。
使用自动化软件Sysmac Studio整合运动、安全、传感等开发环境。
由此，能够缩短设计开发周期及设计人员培训时间。
以往
NX系列
减少占地面积
NX系列在兼顾了控制与安全的同时，宽度也仅有102mm。
相较于其它公司的产品，尺寸缩减了48%*1 ，有助于减少占地面积。
*1. 2022年6月本公司调查结果（CPU单元+安全I/O单元12点配置时）
简化维护工作
无需经由计算机操作工具，仅需使用SD存储卡即可完成程序升级。
此外，还能够避免程序因误操作而遭改写，可轻松、有效地进行维护。
以往使用计算机进行程序升级
NX系列使用SD存储卡轻松进行程序升级
