形状 | 形状检测方式 | 检测距离 | 动作模式 | 导线长 | 型号 |
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反射型 | 0~3mm
(红外光) |
有晶圆片托架时ON | 2m | EE-SPY801 2M | |
EE-SPY802 2M |
晶圆片托架落座传感器
信息更新: 2013年3月27日
形状 | 形状检测方式 | 检测距离 | 动作模式 | 导线长 | 型号 |
---|---|---|---|---|---|
反射型 | 0~3mm
(红外光) |
有晶圆片托架时ON | 2m | EE-SPY801 2M | |
EE-SPY802 2M |
名称 | 型号 |
---|---|
导槽 | EE9-C01 |
EE9-C02 |
注: 不具备传感器的功能。
信息更新: 2013年3月27日