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D5VA-3B1 球式 , 分辨率10点1μm , 线性输出 2D / 3D
D5VA-3P1 脚型 , 分辨率10点1μm , 线性输出 2D / 3D
D5VM-3B1 球式 , 分辨率1μm , B7A输出 2D / 3D

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