ZS-HL

测量中心距离为20 ～ 1,500 mm的各种型号。
最大分辨率达0.25 μm。
最大响应速度达110 μs。
支持并行输出。

重视性能的理想传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。（参见注释）

注：ZS-HLDS2T 不可用。

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率，使光学系统较优化，从而大幅度降低移动分辨率误差（因工件表面位置引起的误差）。

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象，不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此，可以更方便地应用于检测对象物。

1,500mm长距离检测，可以测量以往无法测量的点。

注：此功能可能在明亮环境中无效。

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜，采用的光学结构设计适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度，并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有较佳优势。

测量精度0.25μm，同级产品的较高水平。