快速链接到开云网页版-开云(中国)其他国家/地区的网站。close

开云网页版-开云(中国)全球

Solution

开云网页版-开云(中国)

晶圆槽式清洗机高速高精度应用

符合SECS/GEM通讯,
高速生产节拍x超低碎片率

  • 品质提升
  • 缩短开发周期
  • 降低生产成本
  • 电子
  • IoT

应用介绍

碳化硅晶圆槽式清洗甩干一体机,主要结构包括:上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、、缺陷检测工位、甩干机和下料工位。

课题

1、碎片率高

由于碳化硅晶圆较硅晶圆厚度薄、硬度强,因此在搬运及清洗过程中更加容易碎片。

2、需满足行业标准(SECS/GEM通讯)

开云网页版-开云(中国)

1、轨迹曲线控制技术

客户期望在保证高速节拍的前提下,降低碎片率。通过开云网页版-开云(中国)独特的轨迹曲线控制技术,能够自动计算补偿量,以抑制速度变化时发生的偏差,精度高达±0.01mm。

确保了整个搬运及清洗过程中的运动精度,即可在无偏差的情况下完成一系列工艺操作,有效降低碎片率。

2、满足行业标准(SECS/GEM通讯)

结合机器控制和上位通信,可在短时间内以低成本轻松实现SECS/GEM通信。

■ 与上位主机直接通信
无需中转计算机/专用通信单元/软件

■ 有助于设备小型化
CPU单元可直连上位主机

■ 无需年度合约
・降低运行成本

使用SECS/GEM配置,无需编程即可实现通信设定。

■ 无需地址设定
变量编程无需地址设定

■ 计算机与机器控制器之间无需编程
使用一台CPU,无需在中转计算机和机器控制器之间通信

■ 通过SECS/GEM配置缩短设计时间

系统配置

实现价值

1、生产节拍:<175秒

2、碎片率:<0.05%,完整率≥99.95%

3、满足行业标准(SECS/GEM通讯)

服务支持

APP下载

在线客服

邮件订阅

TOP